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電子半導(dǎo)體噴涂廢氣的處理流程是什么

時間 : 2021-10-22 11:12:11 閱讀 : 294
電子半導(dǎo)體生產(chǎn)車間的噴涂過程會產(chǎn)生廢氣,也稱為電子噴涂廢氣。噴涂廢氣主要由甲苯、二甲苯和其他有機廢氣組成。噴涂廢氣揮發(fā)后形成揮發(fā)性有機化合物,產(chǎn)生光化學(xué)反應(yīng)形成煙霧,破壞臭氧層,對人體和大氣造成危害。因此,電子噴霧廢氣處理是環(huán)境評價要求的重點,也是電子半導(dǎo)體企業(yè)必須達到排放標(biāo)準的廢氣處理要求。  噴涂廢氣治理方法  為了有效處理噴霧廢氣,采用了各種物理、化學(xué)和生物處理方法對其進行處理。目前,根據(jù)不同的廢氣處理形式。處置技術(shù)可分為銷毀法和回收法。銷毀方法是指將有機廢氣完全轉(zhuǎn)化為對環(huán)境無害的物質(zhì),如CO2和H2O。大多數(shù)常見方法是燃燒法和生物法?;厥辗椒ㄊ侵竿ㄟ^改變環(huán)境條件或采用一定的分離方法來分離有機廢氣。有機廢氣z終“變得有價值”。經(jīng)過處理后,它作為溶劑再次進入噴涂系統(tǒng),以便重新使用。常用的處理方法描述如下。  
2.1燃燒法
燃燒法是指在某些催化劑或其他條件下,通過一系列化學(xué)變化,將廢氣中的可燃物質(zhì)分解成對環(huán)境無害或可回收的物質(zhì)。這種方法操作簡單。常用用于處理高濃度廢氣。燃燒廢氣中的大多數(shù)物質(zhì)可以高效處理,但這種方法通常需要使用某種催化劑。催化劑中毒經(jīng)常發(fā)生。  
2.2生物法
生物凈化方法通常使用微生物降解有機廢物并使其成為對環(huán)境無害的物質(zhì)。這種方法是借用微生物處理污水。只要條件合適,無處不在的微生物幾乎可以分解所有的有機和無機物質(zhì),因此生物凈化方法被廣泛應(yīng)用于污染物的處理。然而,由于微生物代謝緩慢和環(huán)境條件惡劣,處理過程耗時太長,成本相對較高。  
2.3吸附法
吸附方法包括化學(xué)吸附法和物理吸附法。化學(xué)吸附法(Chemical adsorption method)是指吸附劑通過化學(xué)鍵與被吸附物質(zhì)結(jié)合連接,從而通過吸附劑吸附污染物中的一部分人體物質(zhì)。物理吸附法是指吸附劑和被吸附物質(zhì)通過分子間力的結(jié)合。雙方的財產(chǎn)沒有改變。在這個過程中沒有化學(xué)反應(yīng)。在揮發(fā)性有機化合物的處理中,吸附是應(yīng)用z廣泛的處理技術(shù)。大多數(shù)常見吸附劑是活性炭。然而,在工廠目前使用的活性炭吸附工藝中,沒有回收工藝?;钚蕴坎荒芑厥?。因此,工藝成本相對較高。它不符合連續(xù)發(fā)展的概念。本文綜合了傳統(tǒng)有機廢氣處理方法的優(yōu)缺點,綜合比較了分析幾種經(jīng)典處理方法的優(yōu)缺點。另外,根據(jù)某電子公司的設(shè)備、生產(chǎn)條件和工藝,結(jié)合噴涂過程中產(chǎn)生的廢氣濃度低、風(fēng)量大的特點,科學(xué)合理地設(shè)計了一套綜合治理工程:吸附處理、解吸、再生、燃燒和釋放。通過圖1所示的工藝流程圖對    
3噴涂廢氣治理工程    
3.1治理工程概述

由于電子產(chǎn)品噴涂過程結(jié)束后產(chǎn)生的有機廢氣與細顆粒和一部分漆霧混合,如果這些細顆粒和漆霧與有機廢氣一起進入活性炭吸附室,有機廢氣降低活性炭吸附的活性部位和降低的吸附效率將大大提高,因此廢氣進入吸附室之前,需要進入霧化洗滌塔。通過洗滌,細顆粒和油霧將被去除。因此,噴射廢氣需要經(jīng)過圖1中的處理過程。

  
3.2治理工程工藝介紹
噴涂過程中產(chǎn)生的廢氣進行綜合處理。具體而言,噴射的廢物 先通過霧化洗滌塔。霧化洗滌塔由多層多孔纖維層組成,并且從 層開始,每單位面積每層中的孔數(shù)量變大。當(dāng)廢氣通過洗滌器時,廢氣中的細顆粒、漆霧和少量有機物不斷與微孔碰撞并結(jié)合,細顆粒不斷細化并逐層連續(xù)附著,z終全部結(jié)合。

噴涂廢氣處理工藝和方法的選擇,應(yīng)結(jié)合電子半導(dǎo)體企業(yè)的實際生產(chǎn)需要,制定切實可行的噴涂廢氣處理方案。電子半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的廢氣處理方法也在不斷更新,實現(xiàn)噴射廢氣處理零排放的進程也將在未來得到推進。

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標(biāo)題:電子半導(dǎo)體噴涂廢氣的處理流程是什么
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